二次图像测量仪通常由机械、照明、长度测量、图像采集、计算机和测量软件六个部分组成。在二阶测量仪上的测量是对单轴或二维平面坐标的测量,焦点首先聚焦,然后对准,然后读取(计数),最后计算。
读数来源于标尺或光栅系统,聚焦由显微镜光学系统完成,照明光源直接影响测量和精度。因为,如果基于图像法的仪器不能有效、准确地照明,测量结果将明显偏离其真实尺寸。
除了上述因素之外,环境条件也是限制测量精度的因素。
通过上述问题分析,可以进行归纳出二次元影像测量仪几个重要方面的误差数据来源:
1.光栅计数仪的误差;
2.工作台运动时直线度和角度摆引起的误差;
3.工作台两个测量轴的垂直度带来误差;
4、显微镜光轴与工作就是台面不垂直管理带了的误差;
5.测量室温度引起的误差;
6.光照条件变化引起的对焦和对准误差。
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