徕卡DM12000M正置智能材料显微镜

宏观模式快速初检,倾斜紫外光路功能,精密观察和复检系统

产品描述
技术参数

Leica DM12000 M ——精密的观察和复检系统     

徕卡DM12000M全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV, 倾斜紫外观察模式) ,不单提升了分辨率还提高了检查12英寸(300毫米)硅片的产能。

最新的 LED 照明技术与一体化设计整合在显微镜上,低热辐射和机身内一体化技术确保了最理想的机身外空气流动状态。低能耗的节电设计大大延长了使用寿命,符合绿色环保的理念。

一键式的操控设计使用户可以轻易地完成倍率转换和相关的照明和相衬效果。


品质特征

高级智能数字式正置材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、电子元器件、粉尘颗粒等样品的观察分析,多种安全设计,保护品圆,镜头及观察者;

● 模块化设计,可实现反射观察、透反射观察配置;

● 复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径;

● 可选配UV光源,提高观察分辨率至亚微米结构,UV由大功率LED产生,具有UV和OUV功能;

● 12×12大样品台,可观察晶圆,LCD等大尺寸样品;

● 6孔位电动物镜转盘,配接32mm直径长工作距离工业物镜;

● 内置电动或手动调焦系统;

● 独有0.7X宏观物镜,具有宏观晶圆检查功能;

● 可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明观察方式;

● 机身内置LED透、反射照明电源,智能光强变化控制照明方式;

● 能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速;

● 机座配触摸按钮,控制显微镜的操作;

● 光强、光阑、观察方式和聚光镜调节可由按键和计算机控制操作,并自动在不同倍数物镜下

● 拍的照片中加相应倍数标尺;

● 具有色温恒定系统,提供工作效率;

● 可配接摄像头,数码相机进行图像采集、分析、测量;

● 可配接荧光观察、高温热台、阴极发光仪、光度计;

● 可配接自动扫描台进行多视场非金属夹杂物分析和颗粒粒度、清洁度分析。

参数/型号

Leica DM 12000M

光学系统

Leica HC 光学器件 (光学系统校正至无限远)

观察镜筒

三目人工学镜筒,直立和同向图像

切换位置 (目镜/摄像头): 100/0 和 0/100,100/0 和 50/50

宏观成像

超广视野概览图像,样品上最大扫描区域 40 mm

照明系统

全 LED 入射光照明;观察技术:亮场、暗场、微分干涉相衬、定性偏振、斜射照明、紫外线、斜射紫外线

全 LED 透射光照明;观察技术:亮场、定性偏振

状态反馈

正面的状态指示器

工作间隔指示器 (仪器背面)

操作支持

内置相衬管理器及科勒照明管理系统

物镜转换盘

手动检验载物台 12 x 12”;302 x 302 mm 移动范围,内置快速调节

扫描载物台 12 x 12”;302 x 302 mm 移动范围,电动,4 mm 高度

控制单元

操纵杆,带 4 个可自由编程的功能键

Leica SmartMove,x、y、z 控制,带 4 个可自由编程的功能键

Leica STP6000 SmartTouch,x、y、z 控制,带 4 个可自由编程的功能键

聚焦

耐用型手动 2 级聚焦,粗调和微调模式;35 mm 移动范围;高度可调式聚焦手柄

精准 3 级聚焦,粗调、微调和超微调模式;35 mm 调节范围;高度可调式聚焦手柄

电动 2 级聚焦;35 mm 移动范围;强重复能力;齐焦补偿

电气系统

供电电压:100120/220–240 V AC (%),50/60 Hz

重量

约 52 kg (其中显微镜约 36.5 kg)

应用

圆晶、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒